Desenvolvimento de um sistema a jato de plasma obtido em cátodo oco para deposição de filmes finos
| dc.contributor.advisor | Alves Júnior, Clodomiro | pt_BR |
| dc.contributor.advisorID | por | |
| dc.contributor.advisorLattes | http://lattes.cnpq.br/7441669258580942 | por |
| dc.contributor.author | Almeida, Edalmy Oliveira de | pt_BR |
| dc.contributor.authorID | por | |
| dc.contributor.authorLattes | http://lattes.cnpq.br/1480791721671288 | por |
| dc.contributor.referees1 | Costa, José Alzamir Pereira da | pt_BR |
| dc.contributor.referees1ID | por | |
| dc.contributor.referees1Lattes | http://lattes.cnpq.br/5592146590288686 | por |
| dc.contributor.referees2 | Fontana, Luis César | pt_BR |
| dc.contributor.referees2ID | por | |
| dc.contributor.referees2Lattes | http://lattes.cnpq.br/9403290679198474 | por |
| dc.date.accessioned | 2014-12-17T15:14:59Z | |
| dc.date.available | 2012-12-16 | pt_BR |
| dc.date.available | 2014-12-17T15:14:59Z | |
| dc.date.issued | 2003-11-25 | pt_BR |
| dc.description.resumo | Foi construído e testado um novo sistema de jato a plasma obtido por descarga em catado oco. O sistema usado para deposição de filmes finos é formado de um catado oco, que trabalha a altas pressões (aproximadamente 1 a 5 mbar), fonte DC (0 a 1200 V), câmara cilíndrica de borossilicato fechada por flages de aço inox. No flange superior está conectado o cátodo oco, o qual possui entrada de gás e sistema de refrigeração. Ele é eletricamente isolado do resto do flange e polarizado negativamente. Em frente ao mesmo está um porta amostra em aço inox, móvel, com distância variando entre 0 e 22mm, polarizado em relação ao cátodo com tensões variáveis entre 0 e 200V. Ambos os cátodos são equipados com termopares. Uma proteção móvel (shutter) é colocada entre o cátodo oco e o porta amostra do substrato para proteger a amostra, enquanto se faz uma limpeza do cátodo. O equipamento foi testado com cátodo de cobre em cavidade de dimensões diferentes. Foram investigadas influências dos parâmetros primários como diâmetro, profundidade da cavidade de cátodo oco e a eficiência do equipamento. O fluxo de argônio foi fixado a 15 sccm, com pressão constante de 2,7 a 3,5 mbar. Cada filme foi depositado durante 15min e depois foi caracterizado por microscopia eletrônica para verificar sua uniformidade. Através da variação das dimensões do cátodo, foi possível avaliar a taxa de desgaste do seu material, para as diferentes condições de trabalho. Valores de taxa de desgaste até 3,2x10-6g/s foram verificados. Para uma distância do substrato de 11mm, o filme depositado ficou limitado a uma área circular de 22mm de diâmetro. Os filmes obtidos encontram-se com espessura em torno de 2,1μm/min | por |
| dc.description.sponsorship | Coordenação de Aperfeiçoamento de Pessoal de Nível Superior | pt_BR |
| dc.format | application/pdf | por |
| dc.identifier.citation | ALMEIDA, Edalmy Oliveira de. Desenvolvimento de um sistema a jato de plasma obtido em cátodo oco para deposição de filmes finos. 2003. 89 f. Dissertação (Mestrado em Física da Matéria Condensada; Astrofísica e Cosmologia; Física da Ionosfera) - Universidade Federal do Rio Grande do Norte, Natal, 2003. | por |
| dc.identifier.uri | https://repositorio.ufrn.br/jspui/handle/123456789/16615 | |
| dc.language | por | por |
| dc.publisher | Universidade Federal do Rio Grande do Norte | por |
| dc.publisher.country | BR | por |
| dc.publisher.department | Física da Matéria Condensada; Astrofísica e Cosmologia; Física da Ionosfera | por |
| dc.publisher.initials | UFRN | por |
| dc.publisher.program | Programa de Pós-Graduação em Física | por |
| dc.rights | Acesso Aberto | por |
| dc.subject | Filmes finos | por |
| dc.subject | Dissertação | por |
| dc.subject | Jato de plasma | por |
| dc.subject | Cátodo oco | por |
| dc.subject.cnpq | CNPQ::CIENCIAS EXATAS E DA TERRA::FISICA | por |
| dc.title | Desenvolvimento de um sistema a jato de plasma obtido em cátodo oco para deposição de filmes finos | por |
| dc.type | masterThesis | por |
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