Desenvolvimento de um sistema a jato de plasma obtido em cátodo oco para deposição de filmes finos

Autores Almeida, Edalmy Oliveira de
Orientador

Alves Júnior, Clodomiro

Editor

Universidade Federal do Rio Grande do Norte

Data

2003-11-25

Palavras-chave

Filmes finos

Dissertação

Jato de plasma

Cátodo oco

Citação
Resumo

URI https://repositorio.ufrn.br/jspui/handle/123456789/16615
ColeçõesPPGFIS - Mestrado em Física

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