Diagnóstico de plasma de cátodo oco: análise da ação de plasma de argônio e Ar-H2 para a deposição de filmes finos de titânio em pós-descarga
| Autores | Silva, Bruno Felipe Costa da | |
|---|---|---|
| Orientador | Guerra Neto, Custódio Leopoldino Brito | |
| Editor | Universidade Federal do Rio Grande do Norte | |
| Data | 2013-07-05 | |
| Palavras-chave | Plasma. Cátodo-oco. Deposição. Filmes finos. Espectroscopia de emissão óptica Plasma. Cathode-hollow. Thin films. Optical Emission Spectroscopy | |
| Citação | ||
| Resumo | ||
| Abstract | ||
| URI | https://repositorio.ufrn.br/jspui/handle/123456789/15706 | |
| Coleções | PPGEM - Mestrado em Engenharia Mecânica |
|---|
Arquivos
Pacote Original
1 - 1 de 1
Carregando...
- Nome:
- BrunoFCS_DISSERT.pdf
- Tamanho:
- 2.35 MB
- Formato:
- Adobe Portable Document Format
Carregando...