Efeito da posição e da corrente elétrica nas propriedades de filmes de AZO depositados por magnetron sputtering DC sem recozimento e aplicação de filme finos de TiO2

Autores Santos, Edson José da Costa
Orientador

Costa, Thercio Henrique de Carvalho

Data

2018-08-06

Palavras-chave

Magnetron sputtering

AZO

TiO2

Propriedades elétricas e ópticas

Citação
Resumo

Abstract

URI https://repositorio.ufrn.br/jspui/handle/123456789/26392
ColeçõesPPGEM - Doutorado em Engenharia Mecânica

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